半導体工場向け製品

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ウェハー用マニュアルピンセット

ウェハー搬送用マニュアルピンセット

厳選された素材と精密加工で定評のあるフロロメカニック(株)製の国産マニュアルピンセットです。

半導体ウェハー専用に設計され、通常のPEEK製ピンセットとウェハーを挟んだ状態で固定できるレバーロック式PEEK製ピンセットがあります。

また、ステンレスとベスペルを組み合わせた高温ウェハー用ピンセットもあります。

ml_lup

mlock_lup2

 

 

 

 

 

 

 

型番

型番 材質と特徴 対応ウェハー レバーロック 備考
E100-100

PEEK with CNT*

熱変形温度:156℃

導電性

耐薬品性あり

濃硫酸少し溶解

4″ ×
E100-125 5″ ×
E100-150 6″ ×
E100-150L レバーロック
E100-200 8″ ×
E100-200L レバーロック
E100-300L 12″ レバーロック
M100-100

PEEK

熱変形温度:156℃

耐薬品性あり

濃硫酸少し溶解

4″ ×
M100-125 5″ ×
M100-150 6″ ×
M100-150L レバーロック
M100-200 8″ ×
M100-200L レバーロック
M100-300L 12″ レバーロック
M110-100

PPS**

熱変形温度:100℃

耐薬品性あり

濃硫酸で溶解しません

4″ ×
M110-125 5″ ×
M110-150 6″ ×
M110-200 8″ ×
M800-200N ベスペル+SUS304連続使用温度:288℃ 6″~8″ ×
M800-200S × スクープ形状

*CNTはカーボンナノチューブで、PEEK材に導電性を付与しています。

**PPSは衝撃で割れやすいので取扱いにご注意ください。

m-matetypemh_lup2

 

 

 

 

 

 

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