厳選された素材と精密加工で定評のあるフロロメカニック(株)製の国産マニュアルピンセットです。
半導体ウェハー専用に設計され、通常のPEEK製ピンセットとウェハーを挟んだ状態で固定できるレバーロック式PEEK製ピンセットがあります。
また、ステンレスとベスペルを組み合わせた高温ウェハー用ピンセットもあります。
厳選された素材と精密加工で定評のあるフロロメカニック(株)製の国産マニュアルピンセットです。
半導体ウェハー専用に設計され、通常のPEEK製ピンセットとウェハーを挟んだ状態で固定できるレバーロック式PEEK製ピンセットがあります。
また、ステンレスとベスペルを組み合わせた高温ウェハー用ピンセットもあります。
型番 | 材質と特徴 | 対応ウェハー | レバーロック | 備考 |
---|---|---|---|---|
E100-100 |
PEEK with CNT* 熱変形温度:156℃ 導電性 耐薬品性あり 濃硫酸少し溶解 |
4″ | × | |
E100-125 | 5″ | × | ||
E100-150 | 6″ | × | ||
E100-150L | ○ | レバーロック | ||
E100-200 | 8″ | × | ||
E100-200L | ○ | レバーロック | ||
E100-300L | 12″ | ○ | レバーロック | |
M100-100 |
PEEK 熱変形温度:156℃ 耐薬品性あり 濃硫酸少し溶解 |
4″ | × | |
M100-125 | 5″ | × | ||
M100-150 | 6″ | × | ||
M100-150L | ○ | レバーロック | ||
M100-200 | 8″ | × | ||
M100-200L | ○ | レバーロック | ||
M100-300L | 12″ | ○ | レバーロック | |
M110-100 |
PPS** 熱変形温度:100℃ 耐薬品性あり 濃硫酸で溶解しません |
4″ | × | |
M110-125 | 5″ | × | ||
M110-150 | 6″ | × | ||
M110-200 | 8″ | × | ||
M800-200N | ベスペル+SUS304連続使用温度:288℃ | 6″~8″ | × | |
M800-200S | × | スクープ形状 |
*CNTはカーボンナノチューブで、PEEK材に導電性を付与しています。
**PPSは衝撃で割れやすいので取扱いにご注意ください。