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半導体工場向け次世代ワイパー

ベクトラ・アルファ10 LT

ISO1～6、クラス1～1,000
5mm巾四辺熱シール
低酸化チタン・ポリエステル・ニット
半導体工場向け次世代ワイパー

ワイパーによるチタン汚染の危険性を無くしたワイパーです。

透明なポリエステル（PET）を白色にするために、一般のポリエステル繊維には酸化チタンが添加されています。
酸化チタンが添加されていない特殊なポリエステル繊維で編まれたワイパーです。


*酸化チタンが含まれていないために光沢のある繊維になっています。

特徴
  • 推奨使用環境：　ISO2～6、クラス1～1,000
  • 材　　質　　：　低酸化チタンのポリエステル
  • 編方・構造　：　両面編　（一層）
  • 切断面処理　：　5mm巾熱シール
  • 洗浄方法　　：　ベクトラ洗浄
  • 包装方法　　：　２重包装
用途
  • 酸化チタン汚染が懸念される半導体プロセス装置の拭き取り
  • 酸化チタンの汚染源を究明する必要のある半導体プロセス装置の拭き取り

 

ベクトラ・アルファ10 LTの型番と梱包
型番 品名 サイズ  梱　包
包装 袋入数 箱入数
TX8659 アルファ10LT 9″ x 9″ 平積み 150枚/袋 10袋/箱
23cmx23cm 75枚/内袋x2 (11.3kg)

 

ベクトラ・アルファ10 LTのウェット・ワイパー
型番 品名 サイズ  梱　包
包装 袋入数 箱入数
TX8691 クアンサットLT 9″ x 9″ 平積み 50枚/袋 12袋/箱
6%IPA 23cmx23cm ①リクローザブル (10.4kg)

 

ベクトラ・アルファ10 LTの特性
液中パーティクル* 2,900,000個/m2 イオン***  0.04ppm
>=0.5μm ナトリウム
SEMパーティクル** 0.5-5.0μm 1,700,000個/m2 カリウム 0.04ppm
5.0-100μm 37,000個/m2 塩素 0.009ppm
＞100μm  100個/m2 吸水量 320ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.02g/m2 吸水速度 0.5秒
純水抽出 0.003g/m2 目　付 130g/m2

*負荷ウェット法による液中パーティクル数（TM22）

**電子顕微鏡法（ASTM E2090-06) によるパーティクル数（TM22）

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

 

 

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