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汚染源の検査と測定

走査電子顕微鏡(SEM)によるパーティクルの判定と測定

走査電子顕微鏡(SEM)によるパーティクルの判定と測定

汚染源測定

最も汚染の少ないクリーンルーム用品を開発、生産して品質保証するために、常に最新の検査、測定機器を導入して完璧をめざしています。

潜在的汚染源であるパーティクル、繊維屑、不揮発性不純物、イオンの4種類に焦点を絞り、汚染源の種類に応じて既に11種類の検査法を確定して測定を行っています。

パーティクル

静止状態で試験品から純水中に放出されるパーティクルと撹拌して純水中に強制排出されるパーティクルを夫々測定し、潜在的なパーティクル量として発表しています。但し、潜在パーティクル量は実用に際して排出されるパーティクルの200万~300万倍に達しますがその大部分は静電気その他の影響でワイパー内部及び表面に残ります。

SEMによる微細パーティクル写真

SEMによる微細パーティクル写真

光学顕微鏡下の粗大パーティクル

光学顕微鏡下の粗大パーティクル

ファイバー(繊維屑)

100ミクロン以上のものをファイバーと定議しています。

純水中に試験品を浸漬して5分間振った後に純水中に放出されるファイバー量を測定します。

不揮発性不純物(NVR)

純水及びイソプロピルアルコール(IPA)中に抽出される不揮発性不純物量を比重測定法で検査します。可視紫外線及び赤外線分光分析法により不純分の詳細を知ることができます。

イオン

金属面に害の多いイオン測定は毛管イオン電気泳動(CIE)又はイオン・クロマトグラフィーを用て精密にppm単位を検出しています。

CIEによるイオン測定試験

CIEによるイオン測定試験

CIEによるイオンの電気泳動描写グラフ

CIEによるイオンの電気泳動描写グラフ

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