半導体工場向け製品

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PVA洗浄ブラシ

ナノシェア PVA洗浄ブラシ

米国リッピ―社のナノシェア・シリーズは心棒と一体成形したPVA洗浄ブラシで特殊洗浄、特殊加工を施した製品です。

ナノシェア加工の種類

特殊洗浄と特殊加工のレベルの組み合わせで3種類のナノシェア加工を用意しています。

商品名 寸法の均一性 特殊加工 クリーン度 コスト
ナノシェアR2
ナノシェアR1 ×
ナノシェア・エコ ×
ナノシェアのPVA素材

ナノシェアは特殊洗浄、特殊加工を施した製品群で、PVAの素材は今までリッピ―社が開発した下記4種類のPVA素材の内、30%圧縮強度が低い(柔らかい)F2、或いはエクリプスでナノシェア加工が可能です。

弾性率 引張強度 30%

圧縮強度

見掛け密度 吸水率 気孔率 気孔径
kPa kg/cm2 g/cm2 g/cm3 ml % μm
エクリプス 190 4.9 68 0.098 1,040 90 81
F2 160 4.6 73 0.097 1,040 90 89
シメントリ 210 5.9 95 0.100 1,000 89 125
ハイドロセル 174 4.9 170 0.117 849 87 153
特徴
  • 心棒一体成形と特殊加工で均一で寸法精度の高いブラシです。
  • 均一で精度の高いブラシは少ないウェハーとの接触で効果的な洗浄効果を上げます。
  • 少ないウェハーとの接触と柔らかいPVA素材ではウェハー表面を傷つけません。
  • 均一で精度の高いブラシはブラシ回転トルクを安定させます。
  • 心棒一体成形と特殊加工で均一で安定した流量の水をブラシ突起先端から流します。
  • 特殊加工で突起先端から水を流すので、汚れやゴミがの付着よるスクラッチを低減します。(ナノシェアR2)
  • 特殊洗浄でパーティクルやイオンを低減します。(ナノシェアR2)
  • 全数、突起を一つ一つ検査して品質確認しています。(ナノシェアR2)
ナノシェアR2の寸法均一性とトルク安定性
unifomity torque

 

ナノシェアR2の特殊加工と流量安定性
 nodule

fluid distribution

ブラシの端から端まで他社にブラシに比べ均一な流量の水が流れ出ます。

ナノシェアR2のパーティクルのバラツキ

Nanoshare LPC distribution

ナノシェアR2のパーティクル(0.2μ以上)のバラツキ

Premount LPC distribution

従来品のパーティクル(0.2μm以上)のバラツキ

ナノシェアR2の検査
dimensional mapping inline monitor
ナノシェアR2は一つ一つの突起を検査しています。

 

ナノシェアR2の型番
型番 PVA素材 洗浄機モデル
 e-300s H2F2N-38-18NM-310 F2 E社300Sモデル用
H2FEN-38-18NM-310 エクリプス
 e-300x H2F2Y-60-32NM-310 F2 E社300Xモデル用
H2FEY-60-32NM-310 エクリプス
 a-300 H2F2N-70-31NM-317 F2 A社300mmモデル用
H2FEN-70-31NM-317 エクリプス
ナノシェアR1の型番
型番 PVA素材 洗浄機モデル
 e-300s H1F2N-38-18NM-310 F2 E社300Sモデル用
H1FEN-38-18NM-310 エクリプス
 e-300x H1F2Y-60-32NM-310 F2 E社300Xモデル用
H1FEY-60-32NM-310 エクリプス
 a-300 H1F2N-70-31NM-317 F2 A社300mmモデル用
H2FEN-70-31NM-317 エクリプス
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