半導体工場向け製品

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ウェハー用真空ピンセット

ウェハー搬送用真空ピンセット

厳選された素材と精密加工で定評のあるフロロメカニック(株)製の国産真空ピンセットです。

半導体ウェハー専用に設計され、導電性のCシリーズと耐薬品性のFシリーズがあります。
それぞれのシリーズに自在軸(X)と固定軸(Y・Z)があり、125mm~300mmウェハー用の先端チップが用意されています。

お客様の用途に合わせて組み合わせが可能です。

導電性のCシリーズと耐薬品性のFシリーズにはそれぞれ下記3種類の接続方式があります。

X自在軸とZ固定軸は同じチップが取り付けられます。

 

X自在軸 : 軸線に対して40°まで自由に角度を付けられます。

X自在

 

Y固定軸 : 8″、12″ウェハーなど重量物に充分な強度があります。

Y固定

 

Z固定軸 : X自在軸用のチップが使えます。

Z固定

 

導電性Cシリーズ

導電性Cシリーズにはシリコンウェハー用チップと化合物半導体、薄いウェハー用のボーラスチップがあります。

真空ピンセット本体は炭素繊維入りナイロン樹脂(トレカ)を用いています。

導電性の効果を確実にするために、導電性チューブを使用してアースすることをお薦めします。導電性 スパイラルチューブには851-Mと851-Lをご用意しております。

アースする真空配管が無い場合には、アース付「導電性FV-W」ポンプも用意しております。

X自在軸、Z固定軸

C001-D-X-100-97

 

Y固定軸

 

C002-D-Y-161-92

 

 

シリコンウェハー用

 本体型番*  軸タイプ ウェハーサイズとチップ型番
5″ 6″ 8″ 12″
C00「 」-D-X-100 X自在 97
C00「 」-D-X-106 X自在 95 96
C00「 」-D-Y-161 Y固定 90 91 92、98  99
C00「 」-D-Z-110-129-1 Z固定  95  96
C00「 」-D-Z-111-129-0 Z固定 97
チップ材質 カーボン繊維入り導電性PEEK

化合物半導体、薄いウェハー用のボーラスチップ

本体型番* 軸タイプ ウェハーサイズとポーラスチップ型番
3″、4″、5″ 6″、8″ 8″、12″
C00「 」-D-Y-161 Y固定 64 67 66
チップ材質 カーボン繊維入り導電性PEEK

*「 」内にバルブ方式を表す下記数字がれて下さい。

1 :  常時閉

2: 常時開

3 : 常時開 、吸引遮断ボタン付

赤文字は省略可能な記号です。

 

 

 

condcutive_chips

porous_chips

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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耐薬品性のFシリーズ

真空ピンセット本体はフッ素樹脂(PTFE/PCTFE)を用いています。

 

X自在軸、Z固定軸

F001-D-X-100-05-3F

Y固定軸

F002-D-Y-14-3F

 

 

 本体型番*   軸タイプ ウェハーサイズとチップ型番**
4″ 5″ 6″ 8″ 12″
 F00「 」-D-X-100 X自在  09 05
 F00「 」-D-X-101 X自在 06 01、02 03、04*
 F00「 」-D-Y-131 Y固定 11*  14** 15
 F00「 」-D-Z-110-130-0 Z固定 06 01、02 03、04*
 F00「 」-D-Z-111-130-1 Z固定 09 05
mate-exチップ材質型番 -3F : 3フッ化
-PK : PEEK
-VP : ベスペル

*「 」内にバルブ方式を表す下記数字が入れて下さい。

1 :  常時閉

2: 常時開

3 : 常時開 、吸引遮断ボタン付

赤文字は省略可能な記号です。

**チップ型番の末尾に材質型番を追加して下さい。(*04-VPと11-VPはありません。)
 **14-3Fと14-PKは生産中止になりました。(2017/03/10)

 

F_chips_XZ

F_chips_Y

 

 

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