半導体工場向け製品

  1. TOP
  2. 半導体工場向け製品
  3. ノッチ合わせ機
  4. ノッチ合わせ機

ノッチ合わせ機

米国マクトロニクス社のノッチ合わせ機です。 テフロン、ポリプロピレン等の様々なデザインのプラスチック・カセットに対応可能*です。

カセットを置くだけでノッチを合わせてくれる「自動(電動)ノッチ合わせ機」と手でローラーを回してオリフラを合わせる「手動ノッチ合わせ機」があります。

*1台のノッチ合わせ機で1種類のカセットにだけに設計・調整致します。

自動ノッチ合わせ機

カセットを置くだけでスタートし、トグルスイッチで予め設定した位置にノッチを合わせて停止します。

調整が難しかったキャッチャーとウェハーホルダーを一体化し、ウェハーリフターを無くした最新モデルが2013年にリリースされました。

<特徴>

・ウェハーと接触するローラは切削加工していないので、発塵が少なくなっています。
・ローラー材質にエラストマーを使用しているので、溶出物質が少なくなっています。
・ローラの回転にステッピングモータを使用していますので、ノッチの位置を正確に制御できます。
・ステッピングモータをマイコンで制御しているので、コンパクトなサイズになっています。

型番 ウェハーサイズ 寸法(本体) 重量(本体) 電源
NFA-800 200mm 29cm x 17cm-19cm 3.8kg AC100V50/60Hz

 

手動ノッチ合わせ機

手でローラーを回してノッチを斜め下に揃えます。 リリースバーを押しながらローラーを回すことによって、下で揃えたノッチを上、または横など任意の位置に移動することが出来ます。

<特徴>
・ウェハーと接触するローラは切削加工していないので、発塵が少なくなっています。
・ローラー材質にエラストマーを使用しているので、溶出物質が少なくなっています。

 

型番 ウェハーサイズ 寸法 重量
NFM-800 200mm  27cm x 15cm – 13cm  1.8kg

NFM-800

Top