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炭酸水製造供給装置

台湾トラスバル社炭酸水製造供給装置は、ヘンリーの法則を利用し高濃度の炭酸水を製造します。
高濃度の炭酸水を希望する導電率に純水で希釈しながら供給します。

導電率設定は高濃度炭酸水と希釈用純水の流量比率を調整して行います。

トラスバル社この炭酸水製造供給装置の開発で5つの特許を申請中です。

台湾大手半導体メーカーで、国内大手メーカーの洗浄機への接続実績が多数あります。

特徴
  • 高導電率(低電気抵抗率)の炭酸水を大量に供給することが可能です。
  • 流量が変化しても安定した導電率(電気抵抗率)の炭酸水を供給できます。
  • 1台で複数のユースポイントに供給可能です。
  • ユースポイントが停止している場合でも、炭酸水を廃棄する必要がありませんので、炭酸ガスや純水の無駄がありません。
用途
  • 純水の帯電防止 (1~10μS/cm)
  • 純水の酸性化  (10μS/cm以上、33μS/cm時のpH4.3)
  • アルカリ性洗浄水の中和化
  • 洗浄水のOH基除去
  • 洗浄水の反応促進
  • ポストAl/Cuドライエッチング洗浄
構造と仕様
 構造図 仕様
 CO2-DI diagram2 性能 炭酸水流量 10~80L/分*
導電率設定範囲 0~40μS/cm**
導電率安定性 ±2μS/cm @33μS/cm
用役 炭酸水用純水 流量 30L/分
圧力 0.42MPa
希釈用純水 流量 100L/分
圧力 0.42MPa
炭酸ガス 流量 30L/分
圧力 0.7MPa
高純度N2

(パージ用)

流量 30L/分
圧力 0.56MPa
CDA

(ポンプ冷却)

流量 30L/分
圧力 0.56MPa
電源 三相200V 50/60Hz
消費電力 15A
サイズ 設置面積(W x D) 1,100 x 1,200mm
高さ 2,000mm
重量 450kg

*設定する導電率で最大流量は変化します。
**ヘンリーの法則により大気圧での導電率は約40μS/cmです。 40μS/cm以上に設定する場合は、ユースポイントが高圧である必要があります。

各種データ
流量が変化しても、大流量になっても安定した導電率維持します。
CO2 different flow rate
希釈用純水の流量 40L/分 60L/分 80L/分 96L/分
高濃度炭酸水の流量 8L/分 12L/分 16L/分 19.2L/分
33μS/cm の炭酸水流量 48L/分 72L/分 86L/分 115.2L/分
平均導電率 33.2μS/cm 32μS/cm 31.8μS/cm 31.5μS/cm

 

流量を50L/分、導電率を31.5μS/cmに設定して5日間稼働しました。 導電率は±2μS/cm以内で安定した炭酸水を供給しています。
CO2 5 days

 

ヘンリーの法則、実証実験です。 理論値と実測値はほぼ一致しました。
温度 飽和蒸気圧 炭酸ガス圧力 導電率
理論値 測定値
Kpa atm (a) atm (a) μS/cm μS/cm
25 3.169 0.031 1.0   47.60   46.3
25 3.169 0.031 2.0   67.86   67.2
25 3.169 0.031 3.0   83.33   82.8
25 3.169 0.031 4.0   96.35   97.8
25 3.169 0.031 4.5 102.24 102.3
25 3.169 0.031 5.0 107.81 107.7
Henry Graph

100Ltank

高濃度炭酸水タンク

 

 

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