半導体工場向け製品

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半導体工場向け製品

ベクトラ・アルファ10 LT

ISO1~6、クラス1~1,000
5mm巾四辺熱シール
低酸化チタン・ポリエステル・ニット
半導体工場向け次世代ワイパー

ワイパーによるチタン汚染の危険性を無くしたワイパーです。

透明なポリエステル(PET)を白色にするために、一般のポリエステル繊維には酸化チタンが添加されています。
酸化チタンが添加されていない特殊なポリエステル繊維で編まれたワイパーです。


*酸化チタンが含まれていないために光沢のある繊維になっています。

特徴
  • 推奨使用環境: ISO2~6、クラス1~1,000
  • 材  質  : 低酸化チタンのポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (一層)
  • 切断面処理 : 5mm巾熱シール
  • 洗浄方法  : ベクトラ洗浄
  • 包装方法  : 2重包装
用途
  • 酸化チタン汚染が懸念される半導体プロセス装置の拭き取り
  • 酸化チタンの汚染源を究明する必要のある半導体プロセス装置の拭き取り

 

ベクトラ・アルファ10 LTの型番と梱包
型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
TX8659 アルファ10LT 9″ x 9″ 平積み 150枚/袋 10袋/箱
23cmx23cm 75枚/内袋x2 (11.3kg)

 

ベクトラ・アルファ10 LTのウェット・ワイパー
型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
TX8691 クアンサットLT 12″ x 12″ 平積み 50枚/袋 12袋/箱
6%IPA 30cmx30cm ①リクローザブル (10.4kg)

 

ベクトラ・アルファ10 LTの特性
液中パーティクル* 2,900,000個/m2 イオン***  0.04ppm
>=0.5μm ナトリウム
SEMパーティクル** 0.5-5.0μm 1,700,000個/m2 カリウム 0.04ppm
5.0-100μm 37,000個/m2 塩素 0.009ppm
>100μm  100個/m2 吸水量 320ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.02g/m2 吸水速度 0.5秒
純水抽出 0.003g/m2 目 付 130g/m2

*負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM22)

**電子顕微鏡法(ASTM E2090-06) によるパーティクル数(TM22)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

 

 

炭酸水製造供給装置

台湾トラスバル社炭酸水製造供給装置は、ヘンリーの法則を利用し高濃度の炭酸水を製造します。
高濃度の炭酸水を希望する導電率に純水で希釈しながら供給します。

導電率設定は高濃度炭酸水と希釈用純水の流量比率を調整して行います。

トラスバル社この炭酸水製造供給装置の開発で5つの特許を申請中です。

台湾大手半導体メーカーで、国内大手メーカーの洗浄機への接続実績が多数あります。

特徴
  • 高導電率(低電気抵抗率)の炭酸水を大量に供給することが可能です。
  • 流量が変化しても安定した導電率(電気抵抗率)の炭酸水を供給できます。
  • 1台で複数のユースポイントに供給可能です。
  • ユースポイントが停止している場合でも、炭酸水を廃棄する必要がありませんので、炭酸ガスや純水の無駄がありません。
用途
  • 純水の帯電防止 (1~10μS/cm)
  • 純水の酸性化  (10μS/cm以上、33μS/cm時のpH4.3)
  • アルカリ性洗浄水の中和化
  • 洗浄水のOH基除去
  • 洗浄水の反応促進
  • ポストAl/Cuドライエッチング洗浄
構造と仕様
 構造図 仕様
 CO2-DI diagram2 性能 炭酸水流量 10~80L/分*
導電率設定範囲 0~40μS/cm**
導電率安定性 ±2μS/cm @33μS/cm
用役 炭酸水用純水 流量 30L/分
圧力 0.42MPa
希釈用純水 流量 100L/分
圧力 0.42MPa
炭酸ガス 流量 30L/分
圧力 0.7MPa
高純度N2

(パージ用)

流量 30L/分
圧力 0.56MPa
CDA

(ポンプ冷却)

流量 30L/分
圧力 0.56MPa
電源 三相200V 50/60Hz
消費電力 15A
サイズ 設置面積(W x D) 1,100 x 1,200mm
高さ 2,000mm
重量 450kg

*設定する導電率で最大流量は変化します。
**ヘンリーの法則により大気圧での導電率は約40μS/cmです。 40μS/cm以上に設定する場合は、ユースポイントが高圧である必要があります。

各種データ
流量が変化しても、大流量になっても安定した導電率維持します。
CO2 different flow rate
希釈用純水の流量 40L/分 60L/分 80L/分 96L/分
高濃度炭酸水の流量 8L/分 12L/分 16L/分 19.2L/分
33μS/cm の炭酸水流量 48L/分 72L/分 86L/分 115.2L/分
平均導電率 33.2μS/cm 32μS/cm 31.8μS/cm 31.5μS/cm

 

流量を50L/分、導電率を31.5μS/cmに設定して5日間稼働しました。 導電率は±2μS/cm以内で安定した炭酸水を供給しています。
CO2 5 days

 

ヘンリーの法則、実証実験です。 理論値と実測値はほぼ一致しました。
温度 飽和蒸気圧 炭酸ガス圧力 導電率
理論値 測定値
Kpa atm (a) atm (a) μS/cm μS/cm
25 3.169 0.031 1.0   47.60   46.3
25 3.169 0.031 2.0   67.86   67.2
25 3.169 0.031 3.0   83.33   82.8
25 3.169 0.031 4.0   96.35   97.8
25 3.169 0.031 4.5 102.24 102.3
25 3.169 0.031 5.0 107.81 107.7
Henry Graph

100Ltank

高濃度炭酸水タンク

 

 

ナノシェア PVA洗浄ブラシ

米国リッピ―社のナノシェア・シリーズは心棒と一体成形したPVA洗浄ブラシで特殊洗浄、特殊加工を施した製品です。

ナノシェア加工の種類

特殊洗浄と特殊加工のレベルの組み合わせで3種類のナノシェア加工を用意しています。

商品名 寸法の均一性 特殊加工 クリーン度 コスト
ナノシェアR2
ナノシェアR1 ×
ナノシェア・エコ ×
ナノシェアのPVA素材

ナノシェアは特殊洗浄、特殊加工を施した製品群で、PVAの素材は今までリッピ―社が開発した下記4種類のPVA素材の内、30%圧縮強度が低い(柔らかい)F2、或いはエクリプスでナノシェア加工が可能です。

弾性率 引張強度 30%

圧縮強度

見掛け密度 吸水率 気孔率 気孔径
kPa kg/cm2 g/cm2 g/cm3 ml % μm
エクリプス 190 4.9 68 0.098 1,040 90 81
F2 160 4.6 73 0.097 1,040 90 89
シメントリ 210 5.9 95 0.100 1,000 89 125
ハイドロセル 174 4.9 170 0.117 849 87 153
特徴
  • 心棒一体成形と特殊加工で均一で寸法精度の高いブラシです。
  • 均一で精度の高いブラシは少ないウェハーとの接触で効果的な洗浄効果を上げます。
  • 少ないウェハーとの接触と柔らかいPVA素材ではウェハー表面を傷つけません。
  • 均一で精度の高いブラシはブラシ回転トルクを安定させます。
  • 心棒一体成形と特殊加工で均一で安定した流量の水をブラシ突起先端から流します。
  • 特殊加工で突起先端から水を流すので、汚れやゴミがの付着よるスクラッチを低減します。(ナノシェアR2)
  • 特殊洗浄でパーティクルやイオンを低減します。(ナノシェアR2)
  • 全数、突起を一つ一つ検査して品質確認しています。(ナノシェアR2)
ナノシェアR2の寸法均一性とトルク安定性
unifomity torque

 

ナノシェアR2の特殊加工と流量安定性
 nodule

fluid distribution

ブラシの端から端まで他社にブラシに比べ均一な流量の水が流れ出ます。

ナノシェアR2のパーティクルのバラツキ

Nanoshare LPC distribution

ナノシェアR2のパーティクル(0.2μ以上)のバラツキ

Premount LPC distribution

従来品のパーティクル(0.2μm以上)のバラツキ

ナノシェアR2の検査
dimensional mapping inline monitor
ナノシェアR2は一つ一つの突起を検査しています。

 

ナノシェアR2の型番
型番 PVA素材 洗浄機モデル
 e-300s H2F2N-38-18NM-310 F2 E社300Sモデル用
H2FEN-38-18NM-310 エクリプス
 e-300x H2F2Y-60-32NM-310 F2 E社300Xモデル用
H2FEY-60-32NM-310 エクリプス
 a-300 H2F2N-70-31NM-317 F2 A社300mmモデル用
H2FEN-70-31NM-317 エクリプス
ナノシェアR1の型番
型番 PVA素材 洗浄機モデル
 e-300s H1F2N-38-18NM-310 F2 E社300Sモデル用
H1FEN-38-18NM-310 エクリプス
 e-300x H1F2Y-60-32NM-310 F2 E社300Xモデル用
H1FEY-60-32NM-310 エクリプス
 a-300 H1F2N-70-31NM-317 F2 A社300mmモデル用
H2FEN-70-31NM-317 エクリプス

ノッチ合わせ機

米国マクトロニクス社のノッチ合わせ機です。 テフロン、ポリプロピレン等の様々なデザインのプラスチック・カセットに対応可能*です。

カセットを置くだけでノッチを合わせてくれる「自動(電動)ノッチ合わせ機」と手でローラーを回してオリフラを合わせる「手動ノッチ合わせ機」があります。

*1台のノッチ合わせ機で1種類のカセットにだけに設計・調整致します。

自動ノッチ合わせ機

カセットを置くだけでスタートし、トグルスイッチで予め設定した位置にノッチを合わせて停止します。

調整が難しかったキャッチャーとウェハーホルダーを一体化し、ウェハーリフターを無くした最新モデルが2013年にリリースされました。

<特徴>

・ウェハーと接触するローラは切削加工していないので、発塵が少なくなっています。
・ローラー材質にエラストマーを使用しているので、溶出物質が少なくなっています。
・ローラの回転にステッピングモータを使用していますので、ノッチの位置を正確に制御できます。
・ステッピングモータをマイコンで制御しているので、コンパクトなサイズになっています。

型番 ウェハーサイズ 寸法(本体) 重量(本体) 電源
NFA-800 200mm 29cm x 17cm-19cm 3.8kg AC100V50/60Hz

 

手動ノッチ合わせ機

手でローラーを回してノッチを斜め下に揃えます。 リリースバーを押しながらローラーを回すことによって、下で揃えたノッチを上、または横など任意の位置に移動することが出来ます。

<特徴>
・ウェハーと接触するローラは切削加工していないので、発塵が少なくなっています。
・ローラー材質にエラストマーを使用しているので、溶出物質が少なくなっています。

 

型番 ウェハーサイズ 寸法 重量
NFM-800 200mm  27cm x 15cm – 13cm  1.8kg

NFM-800

オリフラ合わせ機

米国マクトロニクス社のオリフラ合わせ機です。 テフロン、ポリプロピレン等のプラスチック・カセットやアルミ・カセットなどの様々なデザインのカセットに対応可能*です。

カセットを置くだけでオリフラを合わせてくれる「自動(電動)オリフラ合わせ機」と手動でローラーを回す「手動オリフラ合わせ機」があります。


*1台のオリフラ合わせ機で1種類のカセットにだけに設計・調整致しますので、2種類以上のカセットをご使用することは推奨いたしません。

自動オリフラ合わせ機

カセットを置くだけでスタートし、トグル又はダイヤルスイッチで予め設定した位置にオリフラを合わせて停止します。

マクトロニクス社の自動オリフラ合わせ機は国内だけでも累積販売実績1,000台を超えるロングセラーです。

  • <特徴>
  • ・ウェハーと接触するローラは切削加工していません。平滑な表面で発塵が抑えられます。
    ・ローラーに溶出物質が少ないエラストマーを使用しています。
    ・ローラの回転にステッピングモータを使用しています。オリフラの位置を正確に制御します。
    ・ステッピングモータをマイコンで制御しています。ドライバを使用していないのでコンパクトです。
    ・ディップスイッチで15段階にオリフラの位置を微調整可能です。

 

AFFシリーズ

  • トグル・スイッチの選択でオリフラを、上又は下で合わせます。
型番 ウェハーサイズ 寸法(本体) 重量(本体) 電源
AFF-400 100mm 23cm x 14cm-19cm 2.3kg AC100V50/60Hz
AFF-500 125mm
AFF-600 150mm
AFF-800 200mm  約30cm x 17cm – 19cm  4kg

 

A16シリーズ

16ポジションのダイヤル・スイッチで選択した位置にオリフラを合わせます。

型番 ウェハーサイズ 寸法(本体) 重量(本体) 電源
A16-400 100mm 23cm x 14cm-19cm 2.3kg AC100V50/60Hz
A16-500 125mm
A16-600 150mm
A16-800 200mm  約30cm x 17cm – 19cm  4kg

A16-300

 

手動オリフラ合わせ機

手でローラーを回してオリフラを下に揃えます。 リリースハンドルを押しながらローラーを回すことによって、下で揃えたオリフラを上、または横など任意の位置に移動することが出来ます。

<特徴>
・ウェハーと接触するローラは切削加工していないので、発塵が少なくなっています。
・ローラー材質にエラストマーを使用しているので、溶出物質が少なくなっています。

TBMシリーズ

型番 ウェハーサイズ 寸法 重量
TBM-400 100mm 約19cm x 14cm – 13cm 1kg
TBM-500 125mm
TBM-600 150mm
TBM-800 200mm  26cm x 16cm – 15cm  1.4kg

TBM-x00_s

ウェハー搬送用真空ピンセット

厳選された素材と精密加工で定評のあるフロロメカニック(株)製の国産真空ピンセットです。

半導体ウェハー専用に設計され、導電性のCシリーズと耐薬品性のFシリーズがあります。
それぞれのシリーズに自在軸(X)と固定軸(Y・Z)があり、125mm~300mmウェハー用の先端チップが用意されています。

お客様の用途に合わせて組み合わせが可能です。

導電性のCシリーズと耐薬品性のFシリーズにはそれぞれ下記3種類の接続方式があります。

X自在軸とZ固定軸は同じチップが取り付けられます。

 

X自在軸 : 軸線に対して40°まで自由に角度を付けられます。

X自在

 

Y固定軸 : 8″、12″ウェハーなど重量物に充分な強度があります。

Y固定

 

Z固定軸 : X自在軸用のチップが使えます。

Z固定

 

導電性Cシリーズ

導電性Cシリーズにはシリコンウェハー用チップと化合物半導体、薄いウェハー用のボーラスチップがあります。

真空ピンセット本体は炭素繊維入りナイロン樹脂(トレカ)を用いています。

導電性の効果を確実にするために、導電性チューブを使用してアースすることをお薦めします。導電性 スパイラルチューブには851-Mと851-Lをご用意しております。

アースする真空配管が無い場合には、アース付「導電性FV-W」ポンプも用意しております。

X自在軸、Z固定軸

C001-D-X-100-97

 

Y固定軸

 

C002-D-Y-161-92

 

 

シリコンウェハー用

 本体型番*  軸タイプ ウェハーサイズとチップ型番
5″ 6″ 8″ 12″
C00「 」-D-X-100 X自在 97
C00「 」-D-X-106 X自在 95 96
C00「 」-D-Y-161 Y固定 90 91 92、98  99
C00「 」-D-Z-110-129-1 Z固定  95  96
C00「 」-D-Z-111-129-0 Z固定 97
チップ材質 カーボン繊維入り導電性PEEK

化合物半導体、薄いウェハー用のボーラスチップ

本体型番* 軸タイプ ウェハーサイズとポーラスチップ型番
3″、4″、5″ 6″、8″ 8″、12″
C00「 」-D-Y-161 Y固定 64 67 66
チップ材質 カーボン繊維入り導電性PEEK

*「 」内にバルブ方式を表す下記数字がれて下さい。

1 :  常時閉

2: 常時開

3 : 常時開 、吸引遮断ボタン付

赤文字は省略可能な記号です。

 

 

 

condcutive_chips

porous_chips

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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耐薬品性のFシリーズ

真空ピンセット本体はフッ素樹脂(PTFE/PCTFE)を用いています。

 

X自在軸、Z固定軸

F001-D-X-100-05-3F

Y固定軸

F002-D-Y-14-3F

 

 

 本体型番*   軸タイプ ウェハーサイズとチップ型番**
4″ 5″ 6″ 8″ 12″
 F00「 」-D-X-100 X自在  09 05
 F00「 」-D-X-101 X自在 06 01、02 03、04*
 F00「 」-D-Y-131 Y固定 11*  14** 15
 F00「 」-D-Z-110-130-0 Z固定 06 01、02 03、04*
 F00「 」-D-Z-111-130-1 Z固定 09 05
mate-exチップ材質型番 -3F : 3フッ化
-PK : PEEK
-VP : ベスペル

*「 」内にバルブ方式を表す下記数字が入れて下さい。

1 :  常時閉

2: 常時開

3 : 常時開 、吸引遮断ボタン付

赤文字は省略可能な記号です。

**チップ型番の末尾に材質型番を追加して下さい。(*04-VPと11-VPはありません。)
 **14-3Fと14-PKは生産中止になりました。(2017/03/10)

 

F_chips_XZ

F_chips_Y

 

 

ウェハー搬送用マニュアルピンセット

厳選された素材と精密加工で定評のあるフロロメカニック(株)製の国産マニュアルピンセットです。

半導体ウェハー専用に設計され、通常のPEEK製ピンセットとウェハーを挟んだ状態で固定できるレバーロック式PEEK製ピンセットがあります。

また、ステンレスとベスペルを組み合わせた高温ウェハー用ピンセットもあります。

ml_lup

mlock_lup2

 

 

 

 

 

 

 

型番

型番 材質と特徴 対応ウェハー レバーロック 備考
E100-100

PEEK with CNT*

熱変形温度:156℃

導電性

耐薬品性あり

濃硫酸少し溶解

4″ ×
E100-125 5″ ×
E100-150 6″ ×
E100-150L レバーロック
E100-200 8″ ×
E100-200L レバーロック
E100-300L 12″ レバーロック
M100-100

PEEK

熱変形温度:156℃

耐薬品性あり

濃硫酸少し溶解

4″ ×
M100-125 5″ ×
M100-150 6″ ×
M100-150L レバーロック
M100-200 8″ ×
M100-200L レバーロック
M100-300L 12″ レバーロック
M110-100

PPS**

熱変形温度:100℃

耐薬品性あり

濃硫酸で溶解しません

4″ ×
M110-125 5″ ×
M110-150 6″ ×
M110-200 8″ ×
M800-200N ベスペル+SUS304連続使用温度:288℃ 6″~8″ ×
M800-200S × スクープ形状

*CNTはカーボンナノチューブで、PEEK材に導電性を付与しています。

**PPSは衝撃で割れやすいので取扱いにご注意ください。

m-matetypemh_lup2

 

 

 

 

 

 

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ウェハー用ステンレス製ピンセット

ウェハー用
ステンレス製ピンセット

スイスのデュモン社とルビセル社のウェハー用ピンセットです。

現在では生産中止になっていますので、処分価格でご提供します。

ウェハー用ステンレス製ピンセットの型番
ウェハー 型番 材質 先端巾 全長 メーカー
2″ 2W アンチ・マグネチック* 6.5mm 120mm デュモン
3″ 3W アンチ・マグネチック* 12mm 125mm デュモン
41LBSA-3 アンチ・マグネチック* 9.5mm 125mm ルビセル
4″ 4WF アンチ・マグネチック* 12mm 125mm デュモン
4WFG アンチ・マグネチック* 12mm 125mm デュモン
41LBSA-4 アンチ・マグネチック* 12.5mm 125mm ルビセル
39S-4 アンチ・マグネチック* 12.5mm 130mm ルビセル
5″ なし
6″ 41LBSA-6 アンチ・マグネチック* 19mm 130mm ルビセル
NW-6C デュモクセル** 18mm 125mm デュモン

*アンチ・マグネチックはSUS316L相当です。 80%非磁性です。

**デュモクセルはアンチ・マグネチックを改良した95%非磁性です。

 

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