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サーマシール60

ISO3～7、クラス1～10,000
エッジ四辺熱シール
ポリエステル・ニット

四辺をエッジ熱シールしたポリエステル・ニットをクリーンルームで洗浄、包装しています。

特徴
  • 推奨使用環境：　ISO3～7、クラス1～10,000
  • 材　　質　　：　ポリエステル
  • 編方・構造　：　両面編　（一層）
  • 切断面処理　：　エッジ熱シール
  • 洗浄方法　　：　バッチ洗浄
  • 包装方法　　：　２重包装
用途
  • ISO3～7、クラス1～10,000環境での拭き取り作業
  • 半導体製造装置等のプロセス面の拭き取り(真空チャンバー内面等)

 

サーマシール60の型番と梱包
型番 品名 サイズ 梱包
包装 袋入数 箱入数
TX2064 サーマシール60 4″ x 4″ 平積み 300枚/袋 20袋/箱
(10cmx10cm) 150枚/内袋 x 2 (9.7kg)
TX2066 サーマシール60 6″ x 6″ 平積み 300枚/袋 20袋/箱
(15cm x 15cm) 150枚/内袋 x 2 (18.7kg)
TX2069 サーマシール60 9″ x 9″ 平積み 150枚/袋 10袋/箱
(23cm×23cm) 75枚/内袋 x 2 (11.2kg)

 

サーマシール60の特性
パーティクル 3,500,000個/m2 イオン***  0.30ppm
液中* >=0.5μm ナトリウム
SEM** 0.5-5.0μm 19,000,000個/m2 カリウム 0.12ppm
5.0-100μm 7,900個/m2 塩素 0.06ppm
＞100μm  600個/m2 吸水量 350ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.03g/m2 吸水速度 0.5秒
純水抽出 0.01g/m2 目　付 122g/m2

負荷ウェット法による液中パーティクル数（TM22）

**電子顕微鏡法（ASTM E2090-06) によるパーティクル数（TM20）

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

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