シールド・エッジ・ワイパー

サーマシール80

ISO3～7、クラス1～10,000
四辺エッジ熱シール
ポリエステル・ニット

四辺をエッジ熱シールしたポリエステル・ニットをクリーンルームで洗浄、包装しています。
優れたコストパフォーマンス、低発塵性及び吸水性

サーマシール 80

特徴

推奨使用環境：　ISO3～7、クラス1～10,000
材　　質　　：　ポリエステル
編方・構造　：　両面編　（一層）
切断面処理　：　エッジ熱シール
洗浄方法　　：　バッチ洗浄
包装方法　　：　２重包装

用途

ISO3～7、クラス1～10,000での拭き取り作業
半導体製造装置等のプロセス面の拭き取り(真空チャンバー内面等)

サーマシール80の型番と梱包

型番	品名	サイズ	梱包
型番	品名	サイズ	包装	袋入数	箱入数
TX2184	サーマシール80	4″ x 4″ 10cmx10cm	平積み	300枚/袋	20袋/箱
TX2184			平積み	150枚/内袋 x 2	(9.9kg)
TX2184B			バラ詰	600枚/袋	20袋/箱
TX2184B			バラ詰	300枚/内袋 x 2	(19.6kg)
TX2186	サーマシール80	6″ x 6″ 15cm x 15cm	平積み	300枚/袋	20袋/箱
TX2186			平積み	150枚/内袋 x 2	(21.5kg)
TX2186B			バラ詰	300枚/袋	20袋/箱
TX2186B			バラ詰	150枚/内袋 x 2	(21.5kg)
TX2189	サーマシール80	9″ x 9″ 23cm×23cm	平積み	150枚/袋	10袋/箱
TX2189			平積み	75枚/内袋 x 2	(12.1kg)
TX2189B			バラ詰	150枚/袋	10袋/箱
TX2189B			バラ詰	75枚/内袋 x 2	(12.3kg)
TX2182	サーマシール80	12″ x 12″ 30cmx30cm	平積み	100枚/袋	10袋/箱
TX2182	サーマシール80	12″ x 12″ 30cmx30cm	平積み	50枚/内袋 x 2	(12.5kg)

サーマシール80の特性

	無負荷*	>=0.5μm	3,000,000個/m²		ナトリウム	0.20ppm
液中パーティクル			3,000,000個/m²	イオン***		0.20ppm
	負荷**	5.0-100μm	10,000個/m²		カリウム	0.20ppm
	負荷**	＞100μm	900個/m²		塩素	0.30ppm
不揮発性残留物		IPA抽出	0.06g/m²	吸水量		>320ml/m²
不揮発性残留物		純水抽出	0.02g/m²	目　付		130～140g/m²

*無負荷ウェット法による液中パーティクル数（TM1）

**負荷ウェット法によるパーティクル数（TM7）

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

サーマシール60

ISO3～7、クラス1～10,000
エッジ四辺熱シール
ポリエステル・ニット

四辺をエッジ熱シールしたポリエステル・ニットをクリーンルームで洗浄、包装しています。

特徴

推奨使用環境：　ISO3～7、クラス1～10,000
材　　質　　：　ポリエステル
編方・構造　：　両面編　（一層）
切断面処理　：　エッジ熱シール
洗浄方法　　：　バッチ洗浄
包装方法　　：　２重包装

用途

ISO3～7、クラス1～10,000環境での拭き取り作業
半導体製造装置等のプロセス面の拭き取り(真空チャンバー内面等)

サーマシール60の型番と梱包

型番	品名	サイズ	梱包
型番	品名	サイズ	包装	袋入数	箱入数
TX2064	サーマシール60	4″ x 4″	平積み	300枚/袋	20袋/箱
TX2064	サーマシール60	(10cmx10cm)	平積み	150枚/内袋 x 2	(9.7kg)
TX2066	サーマシール60	6″ x 6″	平積み	300枚/袋	20袋/箱
TX2066	サーマシール60	(15cm x 15cm)	平積み	150枚/内袋 x 2	(18.7kg)
TX2069	サーマシール60	9″ x 9″	平積み	150枚/袋	10袋/箱
TX2069	サーマシール60	(23cm×23cm)	平積み	75枚/内袋 x 2	(11.2kg)

サーマシール60の特性

	液中*	>=0.5μm	3,500,000個/m²		ナトリウム	0.30ppm
パーティクル			3,500,000個/m²	イオン***		0.30ppm
	SEM**	0.5-5.0μm	19,000,000個/m²		カリウム	0.12ppm
		5.0-100μm	7,900個/m²		塩素	0.06ppm
		＞100μm	600個/m²	吸水量		350ml/m²
不揮発性残留物		IPA抽出	0.03g/m²	吸水速度		0.5秒
不揮発性残留物		純水抽出	0.01g/m²	目　付		122g/m²

負荷ウェット法による液中パーティクル数（TM22）

**電子顕微鏡法（ASTM E2090-06) によるパーティクル数（TM20）

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

サーマシール70

ISO3～7、クラス1～10,000
四辺エッジ熱シール
厚手ポリエステル・ニット

四辺をエッジ熱シールした厚手ポリエステル・ニットをクリーンルームで洗浄、包装しています。

サーマシール70

特徴

推奨使用環境：　ISO3～7、クラス1～10,000
材　　質　　：　ポリエステル
切断面処理　：　エッジ熱シール
洗浄方法　　：　バッチ洗浄
包装方法　　：　２重包装

用途

SISO3～7、クラス1～10,000環境での拭き取り作業
半導体製造装置等のプロセス面の拭き取り(真空チャンバー内面等)

サーマシール70の型番と梱包

型番	品名	サイズ	梱包
型番	品名	サイズ	包装	袋入数	箱入数
TX2074	サーマシール70	4″ x 4″	平積み	600枚/袋	10袋/箱
TX2074	サーマシール70	(10cmx10cm)	平積み	300枚/内袋 x 2	(12.1kg)
TX2076	サーマシール70	6″ x 6″	平積み	300枚/袋	20袋/箱
TX2076	サーマシール70	(15cm x 15cm)	平積み	150枚/内袋 x 2	(25.6kg)
TX2079	サーマシール70	9″ x 9″	平積み	150枚/袋	10袋/箱
TX2079	サーマシール70	(23cm×23cm)	平積み	75枚/内袋 x 2	(14.3kg)

サーマシール70の特性

	液中*	>=0.5μm	4,800,000個/m²		ナトリウム	0.40ppm
パーティクル			4,800,000個/m²	イオン***		0.40ppm
	SEM**	＞100μm	600個/m²		カリウム	<0.09ppm
不揮発性残留物		IPA抽出	0.05g/m²		塩素	<0.09ppm
不揮発性残留物		純水抽出	0.01g/m²	吸水量		451ml/m²
目　付			165g/m²	吸水速度		0.5秒

*負荷ウェット法による液中パーティクル数（TM22）

**電子顕微鏡法（ASTM E2090-06) によるパーティクル数（TM22）

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

バーテックスHS

ISO3～7、クラス1～10,000
エッジ熱シール
ポリエステル・ニット

バーテックス・プロセスで生産されたソフトな風合いのワイパーです。
バーテックス・プロセスは製造工程から人を排除したので、人が原因の汚染の心配がありません。また、全自動で生産されているので品質が安定しています。

特徴

推奨使用環境：　ISO3～7、クラス1～10,000
材　　質　　：　ポリエステル
編方・構造　：　両面編　（一層）
切断面処理　：　エッジ熱シール
洗浄方法　　：　バーテックス・プロセス
ＬＡＬ試験　：　３ヶ月に一度
包装方法　　：　２重包装（ドライ、ウェット）
包装方法　　：　３重包装（滅菌ドライ、滅菌ウェット）

用途

洗剤や殺菌剤の塗布
ISO3～7、クラス1～10,000環境での拭き取り作業

バーテックスHSの型番と梱包

ドライ・ワイパー

型番	品名	サイズ	梱　包
型番	品名	サイズ	包装	袋入数	箱入数
TX49	バーテックスHS	9”ｘ9”	平積み	150枚/袋	10袋/箱
TX49		23cm x 23cm	平積み	75枚/内袋x2	10袋/箱
TX42		12″ x 12″	平積み	100枚/袋	10袋/箱
TX42		30cm x 30cm	平積み	100枚/内袋x1	10袋/箱

ウェットワイパー

型番	品名	サイズ	梱　包
型番	品名	サイズ	包装	袋入数	箱入数
TX49P	バーテックス (HS)ウェット	9”ｘ9”	平積み	75枚/パック	4パック/箱
TX49P		23cm x 23cm	平積み	75枚/パック	4パック/箱
TX42P		12″ x 12″	平積み	50枚/パック	4パック/箱
TX42P		30cm x 30cm	平積み	50枚/パック	4パック/箱

滅菌ドライ・ワイパー

型番	品名	サイズ	梱　包
型番	品名	サイズ	包装	袋入数	箱入数
TX3049	滅菌バーテックス (HS)	9”ｘ9”	平積み	100枚/袋	5袋/箱
TX3049		23cm x 23cm	平積み	20枚/内袋 x 5	5袋/箱
TX3042		12″ x 12″	平積み	100枚/袋	5袋/箱
TX3042		30cm x 30cm	平積み	20枚/内袋 x 5	5袋/箱

滅菌ウェット・ワイパー

型番	品名	サイズ	梱　包
型番	品名	サイズ	包装	袋入数	箱入数
TX3049P	滅菌バーテックス (IPA)	9”ｘ9”	平積み	25枚/パック	5パック/箱
TX3049P		23cm x 23cm	平積み	25枚/パック	5パック/箱
TX3042P		12″ x 12″	平積み	25枚/パック	5パック/箱
TX3042P		30cm x 30cm	平積み	25枚/パック	5パック/箱
TX3044P	滅菌バーテックス (エタノール)	12″ x 12″	平積み	25枚/パック	5パック/箱
TX3044P	滅菌バーテックス (エタノール)	30cm x 30cm	平積み	25枚/パック	5パック/箱

バーテックスHSの特性

液中パーティクル*		9,500,000個/m²	溶出イオン***
	>0.5μm	9,500,000個/m²		フッ素	ND
SEMパーティクル**		3,000,000個/m2		塩素	0.01ppm
	0.5-5.0μm	3,000,000個/m2		臭素	ND
	5.0-100μm	66,000個/m²		硫酸	<0.02ppm
	>100μm	200個/m²		リン酸	ND
不揮発性残留物		0.02g/m²		リチウム	ND
	IPA抽出	0.02g/m²		ナトリウム	<0.17ppm
	純水抽出	0.01g/m²		カリウム	ND
吸水量		450ml/m²		アンモニウム	ND
吸水速度		0.3秒		カルシウム	0.10ppm
目　付		130g/m²		マグネシウム	0.01ppm

*負荷ウェット法 (IEST-RP-CC004.3) による液中パーティクル数（TM22）

**電子顕微鏡法（ASTM E2090-06) によるパーティクル数（TM22）

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

ND = 検出限界、0.009 ppm未満です。

品質安定性データ（パーティクル数）
口	ボックス	50%のデータ範囲	－	横線	データの中央値
│	上下線	上下25%のデータ範囲	＊		著しく離れた測定値

バーテックスHD

ISO3～7、クラス1～10,000
エッジ熱シール
ポリエステル・ニット

バーテックス・プロセスで生産された標準的なワイパーです。

バーテックス・プロセスは製造工程から人を排除したので、人が原因の汚染の心配がありません。また、全自動で生産されているので品質が安定しています。

特徴

推奨使用環境：　ISO3～7、クラス1～10,000
材　　質　　：　ポリエステル
編方・構造　：　両面編　（一層）
切断面処理　：　エッジ熱シール
洗浄方法　　：　バーテックス・プロセス
ＬＡＬ試験　：　３ヶ月に一度
包装方法　　：　２重包装

用途

洗剤や殺菌剤の塗布
ISO3～7、クラス1～10,000環境での拭き取り作業

型番と梱包

ドライ・ワイパー

型番	品名	サイズ	梱　包
型番	品名	サイズ	包装	袋入数	箱入数
TX29	バーテックスHD	9” ｘ 9”	平積み	150枚/袋	10袋/箱
TX29	バーテックスHD	23cm x 23cm	平積み	75枚/内袋x2	10袋/箱

バーテックスHDの特性

液中パーティクル*		7,400,000個/m²	溶出イオン***
	>0.5μm	7,400,000個/m²		フッ素	ND
SEMパーティクル**		2,100,000個/m2		塩素	<0.02ppm
	0.5-5.0μm	2,100,000個/m2		臭素	ND
	5.0-100μm	48,600個/m²		硫酸	<0.12ppm
	>100μm	290個/m²		リン酸	ND
不揮発性残留物		0.02g/m²		リチウム	ND
	IPA抽出	0.02g/m²		ナトリウム	<0.08ppm
	純水抽出	0.01g/m²		カリウム	<0.03ppm
吸水量		350ml/m²		アンモニウム	ND
吸水速度		0.3秒		カルシウム	<0.05ppm
目　付		－		マグネシウム	<0.02ppm