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シールド・エッジ・ワイパー

サーマシール80

ISO3~7、クラス1~10,000
四辺エッジ熱シール
ポリエステル・ニット

四辺をエッジ熱シールしたポリエステル・ニットをクリーンルームで洗浄、包装しています。
優れたコストパフォーマンス、低発塵性及び吸水性

サーマシール 80

特徴
  • 推奨使用環境: ISO3~7、クラス1~10,000
  • 材  質  : ポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (一層)
  • 切断面処理 : エッジ熱シール
  • 洗浄方法  : バッチ洗浄
  • 包装方法  : 2重包装
用途
  • ISO3~7、クラス1~10,000での拭き取り作業
  • 半導体製造装置等のプロセス面の拭き取り(真空チャンバー内面等)

 

サーマシール80の型番と梱包
型番 品名 サイズ 梱包
包装 袋入数 箱入数
TX2184 サーマシール80 4″ x 4″

10cmx10cm

平積み 300枚/袋 20袋/箱
150枚/内袋 x 2 (9.9kg)
TX2184B バラ詰 600枚/袋 20袋/箱
300枚/内袋 x 2 (19.6kg)
TX2186 サーマシール80 6″ x 6″

15cm x 15cm

平積み 300枚/袋 20袋/箱
150枚/内袋 x 2 (21.5kg)
TX2186B バラ詰 300枚/袋 20袋/箱
150枚/内袋 x 2 (21.5kg)
TX2189 サーマシール80 9″ x 9″

23cm×23cm

平積み 150枚/袋 10袋/箱
75枚/内袋 x 2 (12.1kg)
TX2189B バラ詰 150枚/袋 10袋/箱
75枚/内袋 x 2 (12.3kg)
TX2182 サーマシール80 12″ x 12″

30cmx30cm

平積み 100枚/袋 10袋/箱
50枚/内袋 x 2 (12.5kg)

 

サーマシール80の特性
液中パーティクル 3,000,000個/m2 イオン***  0.20ppm
無負荷* >=0.5μm ナトリウム
負荷** 5.0-100μm 10,000個/m2 カリウム 0.20ppm
>100μm  900個/m2 塩素 0.30ppm
不揮発性残留物 IPA抽出 0.06g/m2 吸水量 >320ml/m2
純水抽出 0.02g/m2 目 付 130~140g/m2

*無負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM1)

**負荷ウェット法 によるパーティクル数(TM7)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

サーマシール60

ISO3~7、クラス1~10,000
エッジ四辺熱シール
ポリエステル・ニット

四辺をエッジ熱シールしたポリエステル・ニットをクリーンルームで洗浄、包装しています。

特徴
  • 推奨使用環境: ISO3~7、クラス1~10,000
  • 材  質  : ポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (一層)
  • 切断面処理 : エッジ熱シール
  • 洗浄方法  : バッチ洗浄
  • 包装方法  : 2重包装
用途
  • ISO3~7、クラス1~10,000環境での拭き取り作業
  • 半導体製造装置等のプロセス面の拭き取り(真空チャンバー内面等)

 

サーマシール60の型番と梱包
型番 品名 サイズ 梱包
包装 袋入数 箱入数
TX2064 サーマシール60 4″ x 4″ 平積み 300枚/袋 20袋/箱
(10cmx10cm) 150枚/内袋 x 2 (9.7kg)
TX2066 サーマシール60 6″ x 6″ 平積み 300枚/袋 20袋/箱
(15cm x 15cm) 150枚/内袋 x 2 (18.7kg)
TX2069 サーマシール60 9″ x 9″ 平積み 150枚/袋 10袋/箱
(23cm×23cm) 75枚/内袋 x 2 (11.2kg)

 

サーマシール60の特性
パーティクル 3,500,000個/m2 イオン***  0.30ppm
液中* >=0.5μm ナトリウム
SEM** 0.5-5.0μm 19,000,000個/m2 カリウム 0.12ppm
5.0-100μm 7,900個/m2 塩素 0.06ppm
>100μm  600個/m2 吸水量 350ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.03g/m2 吸水速度 0.5秒
純水抽出 0.01g/m2 目 付 122g/m2

負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM22)

**電子顕微鏡法(ASTM E2090-06) によるパーティクル数(TM20)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

サーマシール70

ISO3~7、クラス1~10,000
四辺エッジ熱シール
厚手ポリエステル・ニット

四辺をエッジ熱シールした厚手ポリエステル・ニットをクリーンルームで洗浄、包装しています。

サーマシール70

特徴
  • 推奨使用環境: ISO3~7、クラス1~10,000
  • 材  質  : ポリエステル
  • 切断面処理 : エッジ熱シール
  • 洗浄方法  : バッチ洗浄
  • 包装方法  : 2重包装
用途
  • SISO3~7、クラス1~10,000環境での拭き取り作業
  • 半導体製造装置等のプロセス面の拭き取り(真空チャンバー内面等)

 

サーマシール70の型番と梱包
型番 品名 サイズ 梱包
包装 袋入数 箱入数
TX2074 サーマシール70 4″ x 4″ 平積み 600枚/袋 10袋/箱
(10cmx10cm) 300枚/内袋 x 2 (12.1kg)
TX2076 サーマシール70 6″ x 6″ 平積み 300枚/袋 20袋/箱
(15cm x 15cm) 150枚/内袋 x 2 (25.6kg)
TX2079 サーマシール70 9″ x 9″ 平積み 150枚/袋 10袋/箱
(23cm×23cm) 75枚/内袋 x 2 (14.3kg)

 

 

サーマシール70の特性
パーティクル 4,800,000個/m2 イオン***  0.40ppm
液中* >=0.5μm ナトリウム
SEM** >100μm 600個/m2 カリウム <0.09ppm
不揮発性残留物 IPA抽出 0.05g/m2 塩素 <0.09ppm
純水抽出 0.01g/m2 吸水量 451ml/m2
目 付 165g/m2 吸水速度 0.5秒

*負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM22)

**電子顕微鏡法(ASTM E2090-06) によるパーティクル数(TM22)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

バーテックスHS

ISO3~7、クラス1~10,000
エッジ熱シール
ポリエステル・ニット

バーテックス・プロセスで生産されたソフトな風合いのワイパーです。
バーテックス・プロセスは製造工程から人を排除したので、人が原因の汚染の心配がありません。また、全自動で生産されているので品質が安定しています。

特徴
  • 推奨使用環境: ISO3~7、クラス1~10,000
  • 材  質  : ポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (一層)
  • 切断面処理 : エッジ熱シール
  • 洗浄方法  : バーテックス・プロセス
  • LAL試験 : 3ヶ月に一度
  • 包装方法  : 2重包装(ドライ、ウェット)
  • 包装方法  : 3重包装(滅菌ドライ、滅菌ウェット)
用途
  • 洗剤や殺菌剤の塗布
  • ISO3~7、クラス1~10,000環境での拭き取り作業
バーテックスHSの型番と梱包

ドライ・ワイパー

 型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
 TX49 バーテックスHS 9”x9” 平積み 150枚/袋 10袋/箱
23cm x 23cm 75枚/内袋x2
 TX42 12″ x 12″ 平積み 100枚/袋 10袋/箱
30cm x 30cm 100枚/内袋x1

ウェットワイパー

型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
 TX49P バーテックス

(HS)ウェット

9”x9” 平積み 75枚/パック 4パック/箱
23cm x 23cm
 TX42P 12″ x 12″ 平積み 50枚/パック 4パック/箱
30cm x 30cm

滅菌ドライ・ワイパー

型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
 TX3049 滅菌バーテックス

(HS)

9”x9” 平積み 100枚/袋 5袋/箱
23cm x 23cm 20枚/内袋 x 5
 TX3042 12″ x 12″ 平積み 100枚/袋 5袋/箱
30cm x 30cm 20枚/内袋 x 5

滅菌ウェット・ワイパー

型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
 TX3049P 滅菌バーテックス

(IPA)

 

 

9”x9” 平積み 25枚/パック 5パック/箱
23cm x 23cm
 TX3042P 12″ x 12″ 平積み 25枚/パック 5パック/箱
30cm x 30cm
TX3044P 滅菌バーテックス

(エタノール)

12″ x 12″ 平積み 25枚/パック 5パック/箱
30cm x 30cm

 

バーテックスHSの特性
液中パーティクル* 9,500,000個/m2 溶出イオン***
>0.5μm フッ素 ND
SEMパーティクル** 3,000,000個/m2 塩素 0.01ppm
0.5-5.0μm 臭素 ND
 5.0-100μm 66,000個/m2 硫酸 <0.02ppm
 >100μm 200個/m2 リン酸 ND
不揮発性残留物 0.02g/m2 リチウム ND
IPA抽出 ナトリウム <0.17ppm
純水抽出 0.01g/m2 カリウム ND
吸水量 450ml/m2 アンモニウム ND
吸水速度 0.3秒 カルシウム 0.10ppm
目 付 130g/m2 マグネシウム 0.01ppm

*負荷ウェット法 (IEST-RP-CC004.3) による液中パーティクル数(TM22)

**電子顕微鏡法(ASTM E2090-06) によるパーティクル数(TM22)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

ND = 検出限界 、0.009 ppm未満です。

品質安定性データ(パーティクル数)
ボックス 50%のデータ範囲 横線 データの中央値
上下線 上下25%のデータ範囲 著しく離れた測定値
TX49 LPC data TX49 SEM data1r
TX49 SEM data2 TX49 SEM data3

 

バーテックスHD

ISO3~7、クラス1~10,000
エッジ熱シール
ポリエステル・ニット

バーテックス・プロセスで生産された標準的なワイパーです。

バーテックス・プロセスは製造工程から人を排除したので、人が原因の汚染の心配がありません。また、全自動で生産されているので品質が安定しています。

特徴
  • 推奨使用環境: ISO3~7、クラス1~10,000
  • 材  質  : ポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (一層)
  • 切断面処理 : エッジ熱シール
  • 洗浄方法  : バーテックス・プロセス
  • LAL試験 : 3ヶ月に一度
  • 包装方法  : 2重包装
用途
  • 洗剤や殺菌剤の塗布
  • ISO3~7、クラス1~10,000環境での拭き取り作業
型番と梱包

ドライ・ワイパー

 型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
TX29 バーテックスHD 9” x 9” 平積み 150枚/袋 10袋/箱
23cm x 23cm 75枚/内袋x2

 

バーテックスHDの特性
液中パーティクル* 7,400,000個/m2 溶出イオン***
>0.5μm フッ素 ND
SEMパーティクル** 2,100,000個/m2 塩素 <0.02ppm
0.5-5.0μm 臭素 ND
 5.0-100μm 48,600個/m2 硫酸 <0.12ppm
 >100μm 290個/m2 リン酸 ND
不揮発性残留物 0.02g/m2 リチウム ND
IPA抽出 ナトリウム <0.08ppm
純水抽出 0.01g/m2 カリウム <0.03ppm
吸水量 350ml/m2 アンモニウム ND
吸水速度 0.3秒 カルシウム <0.05ppm
目 付 マグネシウム <0.02ppm

*負荷ウェット法 (IEST-RP-CC004.3) による液中パーティクル数(TM22)

**電子顕微鏡法(ASTM E2090-06) によるパーティクル数(TM22)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

ND = 検出限界 、0.009 ppm未満です。

品質安定性データ(パーティクル数)
ボックス 50%のデータ範囲 横線 データの中央値
上下線 上下25%のデータ範囲 著しく離れた測定値
TX29 LPC data TX29 SEM data2
TX29 SEM data2 TX29 SEM data3

 

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