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ベクトラ・ハニカム10

ISO3~7、クラス1~10,000
5mm巾四辺熱シール
ポリエステル・ニット

ベクトラ・ハニカム10はグリット状の編み目(片面のみ)のあるポリエステル・ニットで、比較的大きな粒状のゴミを拭き取るのに適しています。

5mm巾で四辺熱シールし、ベクトラ・プロセスで洗浄・検査しています。

特徴
  • 推奨使用環境: ISO3~7、クラス10~10,000
  • 材  質  : ポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (一層)
  • 切断面処理 : 5mm巾熱シール
  • 洗浄方法  : ベクトラ洗浄
  • 包装方法  : 2重包装
用途
  • 比較的大きな粒状のゴミを拭き取り
用途
 割れたウェハー片の拭き取り

 プロセスに残った金属薄膜片の拭き取り

 

TX1060_APP
ベクトラ・ハニカム10型番と梱包
型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
TX1060 ベクトラ・

ハニカム10

9″ x 9″ 平積み 100枚/袋 10袋/箱
23cmx23cm 50枚/内袋x2 (9.5kg)
ベクトラ・ハニカム10の特性
液中パーティクル* 4,000,000個/m2 イオン***  0.30ppm
>=0.5μm ナトリウム
SEMパーティクル** 0.5-5.0μm 1,800,000個/m2 カリウム 0.07ppm
5.0-100μm 88,000個/m2 塩素 0.04ppm
>100μm 220個/m2 吸水量 420ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.03g/m2 吸水速度 0.5秒
純水抽出 0.004g/m2 目 付 164g/m2

*負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM22)

**電子顕微鏡法(ASTM E2090-06) によるパーティクル数(TM22)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

 

 

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