クリーンルーム用品

  1. TOP
  2. クリーンルーム用品
  3. ワイパー
  4. シールド・ボーダー・ワイパー

シールド・ボーダー・ワイパー

ベクトラ・アルファ10

ISO2~7、クラス1~10,000
5mm巾四辺熱シール
ポリエステル・ニット

比較的伸びの少ないニットは、粗い表面の拭き取りでも丈夫です。
アルファ10は、伸びの少ないニットを5mm巾で熱シールしています。

アルファ10をベクトラ・プロセス*で洗浄・検査したベクトラ・アルファ10、TX1010があります。



ベクトラ・アルファ10

特徴
  • 推奨使用環境: ISO2~7、クラス1~10,000
  • 材  質  : ポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (一層)
  • 切断面処理 : 5mm巾熱シール
  • 洗浄方法  : ベクトラ洗浄 (TX1010、ベクトラ・アルファ10)
  • 洗浄方法  : バッチ洗浄 (TX1012、アルファ10)
  • 包装方法  : 2重包装
用途
  • 半導体製造装置等のプロセス面の拭き取り(真空チャンバー内面等)
  • ISO2~7、クラス1~10,000環境での拭き取り

ベクトラ・プロセスに関してはこちらをご覧ください。

(ベクトラ)アルファ10の型番と梱包
型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
ベクトラ・アルファ10 TX1010 ベクトラ・

アルファ10

9″ x 9″ 平積み 100枚/袋 10袋/箱
23cmx23cm 50枚/内袋x2 (7.7kg)
TX1012 アルファ10 12″ x 12″ 平積み 100枚/袋 10袋/箱
30cmx30cm 100枚/内袋 x 1 (13.6kg)
アルファ10のウェット・ワイパーと滅菌ワイパー
サイズ ウェットワイパー 滅菌ドライ 滅菌ウェットワイパー
9″x9″ 23cmx23cm TX8410 100%IPA TX3285 70%IPA
TX8415 6%IPA
12″x12″ 30cmx30cm TX3212 TX3280 70%IPA
TX1010 ベクトラ・アルファ10の特性
液中パーティクル* 2,900,000個/m2 イオン***  0.04ppm
>=0.5μm ナトリウム
SEMパーティクル** 0.5-5.0μm 1,700,000個/m2 カリウム 0.04ppm
5.0-100μm 37,000個/m2 塩素 0.009ppm
>100μm  100個/m2 吸水量 320ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.02g/m2 吸水速度 0.5秒
純水抽出 0.003g/m2 目 付 130g/m2

*負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM22)

**電子顕微鏡法(ASTM E2090-06) によるパーティクル数(TM22)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

TX1012 アルファ10の特性
液中パーティクル* イオン***  0.25ppm
>=0.5μm ナトリウム
SEMパーティクル** 0.5-5.0μm 5,100,000個/m2 カリウム 0.18ppm
5.0-100μm 246,825個/m2 塩素 0.11ppm
>100μm  144個/m2 吸水量 320ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.05g/m2 吸水速度 0.5秒
純水抽出 0.02g/m2 目 付 135g/m2

*負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM22)

**電子顕微鏡法(ASTM E2090-06) によるパーティクル数(TM22)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

ベクトラ・アルファソーブ10

ISO3~7、クラス1~10,000
5mm巾四辺熱シール
厚手ポリエステル・ニット(2層)

ポリエステル・ニットを2枚張り合わせて、5mm巾で四辺を熱シールしています。
ベクトラ・プロセスで洗浄・検査しています。

極厚なので吸水量が多くなっています。

ベクトラ・アルファソーブ10

特徴
  • 推奨使用環境: ISO3~7、クラス1~10,000
  • 材  質  : ポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (二層)
  • 切断面処理 : 5mm巾熱シール
  • 洗浄方法  : ベクトラ洗浄 (TX1050、ベクトラ・アルファソーブ10)
  • 洗浄方法  : バッチ洗浄 (TX1052、アルファソーブ10)
  • 包装方法  : 2重包装
用途
  • 最も高いクリーン度を要する環境での水や薬液の除去。
  • 最も高いクリーン度を要する環境でのアルコールや消毒液の塗布。
(ベクトラ)アルファソーブ10型番と梱包
型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
tx1050 TX1050 ベクトラ・アルファソーブ10 9″ x 9″ 平積み 100枚/袋 10袋/箱
23cmx23cm 50枚/内袋x2 (12.3kg)
TX1052 TX1052 アルファソーブ10 12″ x 12″ 平積み 100枚/袋 6袋/箱
30cmx30cm 100枚/内袋 x 1 (10.9kg)
ベクトラ・アルファソーブ10のウェット・ワイパーと滅菌ワイパー
サイズ ウェットワイパー 滅菌ドライ 滅菌ウェットワイパー
9″ x 9″ 23cm x 23cm TX1057 10%IPA
12″ x1 2″ 31cm x 31cm TX3215
TX1050 ベクトラ・アルファソーブ10の特性
液中パーティクル* 2,700,000個/m2 イオン***  0.11ppm
>=0.5μm ナトリウム
SEMパーティクル** 0.5-5.0μm 1,100,000個/m2 カリウム 0.13ppm
5.0-100μm 43,000個/m2 塩素 0.008ppm
>100μm  100個/m2 吸水量 540ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.04g/m2 吸水速度 0.5秒
純水抽出 0.01g/m2 目 付 214g/m2

*負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM22)

**電子顕微鏡法(ASTM E2090-06) によるパーティクル数(TM22)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

ベクトラ・ハニカム10

ISO3~7、クラス1~10,000
5mm巾四辺熱シール
ポリエステル・ニット

ベクトラ・ハニカム10はグリット状の編み目(片面のみ)のあるポリエステル・ニットで、比較的大きな粒状のゴミを拭き取るのに適しています。

5mm巾で四辺熱シールし、ベクトラ・プロセスで洗浄・検査しています。

特徴
  • 推奨使用環境: ISO3~7、クラス10~10,000
  • 材  質  : ポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (一層)
  • 切断面処理 : 5mm巾熱シール
  • 洗浄方法  : ベクトラ洗浄
  • 包装方法  : 2重包装
用途
  • 比較的大きな粒状のゴミを拭き取り
用途
 割れたウェハー片の拭き取り

 プロセスに残った金属薄膜片の拭き取り

 

TX1060_APP
ベクトラ・ハニカム10型番と梱包
型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
TX1060 ベクトラ・

ハニカム10

9″ x 9″ 平積み 100枚/袋 10袋/箱
23cmx23cm 50枚/内袋x2 (9.5kg)
ベクトラ・ハニカム10の特性
液中パーティクル* 4,000,000個/m2 イオン***  0.30ppm
>=0.5μm ナトリウム
SEMパーティクル** 0.5-5.0μm 1,800,000個/m2 カリウム 0.07ppm
5.0-100μm 88,000個/m2 塩素 0.04ppm
>100μm 220個/m2 吸水量 420ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.03g/m2 吸水速度 0.5秒
純水抽出 0.004g/m2 目 付 164g/m2

*負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM22)

**電子顕微鏡法(ASTM E2090-06) によるパーティクル数(TM22)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

 

 

ベクトラ・アルファ10 LT

ISO1~6、クラス1~1,000
5mm巾四辺熱シール
低酸化チタン・ポリエステル・ニット
半導体工場向け次世代ワイパー

ワイパーによるチタン汚染の危険性を無くしたワイパーです。

透明なポリエステル(PET)を白色にするために、一般のポリエステル繊維には酸化チタンが添加されています。
酸化チタンが添加されていない特殊なポリエステル繊維で編まれたワイパーです。


*酸化チタンが含まれていないために光沢のある繊維になっています。

特徴
  • 推奨使用環境: ISO2~6、クラス1~1,000
  • 材  質  : 低酸化チタンのポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (一層)
  • 切断面処理 : 5mm巾熱シール
  • 洗浄方法  : ベクトラ洗浄
  • 包装方法  : 2重包装
用途
  • 酸化チタン汚染が懸念される半導体プロセス装置の拭き取り
  • 酸化チタンの汚染源を究明する必要のある半導体プロセス装置の拭き取り

 

ベクトラ・アルファ10 LTの型番と梱包
型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
TX8659 アルファ10LT 9″ x 9″ 平積み 150枚/袋 10袋/箱
23cmx23cm 75枚/内袋x2 (11.3kg)

 

ベクトラ・アルファ10 LTのウェット・ワイパー
型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
TX8691 クアンサットLT 12″ x 12″ 平積み 50枚/袋 12袋/箱
6%IPA 30cmx30cm ①リクローザブル (10.4kg)

 

ベクトラ・アルファ10 LTの特性
液中パーティクル* 2,900,000個/m2 イオン***  0.04ppm
>=0.5μm ナトリウム
SEMパーティクル** 0.5-5.0μm 1,700,000個/m2 カリウム 0.04ppm
5.0-100μm 37,000個/m2 塩素 0.009ppm
>100μm  100個/m2 吸水量 320ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.02g/m2 吸水速度 0.5秒
純水抽出 0.003g/m2 目 付 130g/m2

*負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM22)

**電子顕微鏡法(ASTM E2090-06) によるパーティクル数(TM22)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

 

 

ベクトラ・クアンテックス

ISO3~7、クラス1~10,000
5mm巾熱シール
ポリエステル・ニット
ソフトな風合い

ソフトな風合いのポリエステル・ニットをベクトラ・プロセスで洗浄、検査しています。
切断面は5mm巾で熱シールしてあります。

特徴
  • 推奨使用環境: ISO3~7、クラス1~10,000
  • 材  質  : ポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (一層)
  • 切断面処理 : 5mm巾熱シール
  • 洗浄方法  : ベクトラ洗浄
  • 包装方法  : 2重包装
用途
  • ISO3~7、クラス1~10000環境での拭き取り作業
ベクトラ・クアンテックス型番と梱包
 型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
TX1080 ベクトラ・

クアンテックス

9″ x 9″

23cm x 23cm

平積み 150枚/袋

(75枚/内袋 x 2)

10袋/箱

(9.5kg)

ベクトラ・クアンテックスのウェット・ワイパーと滅菌ワイパー
サイズ ウェットワイパー 滅菌ドライ 滅菌ウェットワイパー
9″ x 9″ 23cm x 23cm TX1082 100%IPA
TX1084 70%IPA
TX1086 6%IPA
ベクトラ・クアンテックスの特性
液中パーティクル* 6,700,000個/m2 イオン***
>=0.5μm ナトリウム 0.17ppm
SEMパーティクル** 0.5-5.0μm 1,300,000個/m2 カリウム 0.05ppm
5.0-100μm 69,000個/m2 塩素 0.01ppm
>100μm  220個/m2 吸水量 375ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.03g/m2 吸水速度 0.5秒
純水抽出 0.02g/m2 目 付 109g/m2

*負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM22)

**電子顕微鏡法(ASTM E2090-06) によるパーティクル数(TM22)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

テクストラ10

ISO3~7、クラス1~10,000
5mm巾四辺熱シール
厚手ポリエステル・ニット(1層)

2枚分の吸水量がある厚手ポリエステル・ニットをクリーンルームで洗浄、包装しています。
切断面は5mm巾で熱シールしてあります。

特徴
  • 推奨使用環境: ISO3~7、クラス1~10,000
  • 材  質  : ポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (一層)
  • 切断面処理 : 5mm巾熱シール
  • 洗浄方法  : バッチ洗浄
  • 包装方法  : 2重包装
用途
  • 洗剤や殺菌剤の塗布
  • ISO3~7、クラス1~10000環境での拭き取り作業

5mm巾熱シールしていない「テクストラ」はこちらをご覧ください。

テクストラ10の型番と梱包
 型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
TX2452  テクストラ10 12″ x 12″

30cm x 30cm

平積み 100枚/袋

(50枚/内袋 x 2)

6袋/箱

(13.6kg)

テクストラ10のウェット・ワイパーと滅菌ワイパー
サイズ ウェットワイパー 滅菌ドライ 滅菌ウェットワイパー
9″ x 9″ 23cm x 23cm TX3224
12″ x1 2″ 31cm x 31cm TX3225
テクストラ10の特性
パーティクル 4,200,000個/m2 イオン*** 0.15ppm
液中 * >=0.5μm ナトリウム
SEM** >100μm 60個/m2 カリウム 0.15ppm
不揮発性残留物 IPA抽出 0.04g/m2 塩素 0.10ppm
純水抽出 0.01g/m2 吸水量 600ml/m2
目 付 233g/m2 吸水速度 0.3秒

*負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM22)

**電子顕微鏡法(ASTM E2090-06) によるパーティクル数(TM22)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

テックスシール

ISO3~7、クラス1~10,000
5mm巾四辺熱シール
ポリエステル・ニット

5mm巾で四辺を熱シールしたポリエステル・ニットをクリーンルームで伝統的なバッチ洗浄、包装しています。

テックスシール

特徴
  • 推奨使用環境: ISO3~7、クラス1~10,000
  • 材  質  : ポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (一層)
  • 切断面処理 : 5mm巾熱シール
  • 洗浄方法  : バッチ洗浄
  • 包装方法  : 2重包装
型番と梱包
型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
TX2026 テックスシール 6″ x 6″ 平積み 300枚/袋 20袋/箱
15cmx15cm 150枚/内袋x2 (16.4kg)
TX2029 9″ x 9″ 平積み 100枚/袋 12袋/箱
23cmx23c, 50枚/内袋x2 (10.0kg)
TX2022 12″ x 12″ 平積み 100枚/袋 10袋/箱
30cmx30cm 50枚/内袋x2 (11.4kg)

 

テックスシールの特性
無負荷液中パーティクル* 1,000,000個/m2 イオン*** 0.18ppm
>=0.5μm ナトリウム
光学顕微鏡法パーティクル** 2,838個/m2 カリウム 0.37ppm
20-100μm 塩素 0.55ppm
>100μm 230個/m2 吸水量 350ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.03g/m2 吸水速度 2.5秒
純水抽出 0.01g/m2 目付 122g/m2

*無負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM5)

**光学顕微鏡法によるパーティクル数(TM7)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

テックスシールHS

ISO3~7、クラス1~10,000
5mm巾四辺熱シール
厚手ポリエステル・ニット

5mm巾で四辺を熱シールした厚手ポリエステル・ニットをクリーンルームで洗浄、包装しています。

テックスシールHS

特徴
  • 推奨使用環境: ISO3~7、クラス1~10,000
  • 材  質  : ポリエステル
  • 編方・構造 : 両面編 (一層)
  • 切断面処理 : 5mm巾熱シール
  • 洗浄方法  : バッチ洗浄
  • 包装方法  : 2重包装
型番と梱包
型番 品名 サイズ  梱 包
包装 袋入数 箱入数
TX2036 テックスシールHS 6″ x 6″ 平積み 150枚/袋 20袋/箱
15cmx15cm 150枚/内袋x1 (19.0kg)
TX2039 9″ x 9″ 平積み 100枚/袋 10袋/箱
23cmx23c, 50枚/内袋x2 (13.2kg)
TX2032 12″ x 12″ 平積み 100枚/袋 10袋/箱
30cmx30cm 50枚/内袋x2 (15.9kg)
テックスシールHSの特性
無負荷液中パーティクル* 1,200,000個/m2 イオン*** 0.20ppm
>=0.5μm ナトリウム
光学顕微鏡法パーティクル** カリウム <0.18ppm
20-100μm 塩素 0.58ppm
>100μm 320個/m2 吸水量 650ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.04g/m2 吸水速度 0.8秒
純水抽出 0.01g/m2 目付 241g/m2

*無負荷ウェット法による液中パーティクル数(TM5)

**光学顕微鏡法によるパーティクル数(TM7)

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

 

Top